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李云海只知道有这么一种技术。
但他只知其然,不知其所以然。
浸润式光刻机技机,具体是怎么样的,他说不出来。
纪文姝道:“李总,我们现在使用的浸入液是环辛烷。可是我们还存在很多问题没有解决。对浸入液的充入、镜头的沾污、光刻胶的稳定性和气泡的伤害等关键问题,我们都要一一解决。”
李云海道:“多久能解决这些难题?”
纪文姝道:“我现在不好说,难题太多,我们只能一边研究一边攻克。”
2000年以前,业界普遍认为193n光刻无法延伸到65n技术节点,而157n将成为主流技术。
然而,157n光刻技术遭遇到了来自光刻机透镜的巨大挑战。
这是由于绝大多数材料会强烈地吸收157n的光波,只有CaF2勉强可以使用。但研磨得到的CaF2镜头缺陷率和像差很难控制,并且价格相当昂贵。雪上加霜的是,它的使用寿命也极短,频繁更换镜头让芯片制造业无法容忍。
有远见的科学家们,早就看到了未来光刻机的极限。
他们一直在寻求新的突破。
研究浸润式光刻机的,也不仅仅只有四海集团一家公司。
当前的主流研究方向,是基于157n浸入式光刻。
可是遇到的难题,却让所有人止步不前。
现在,纪文姝也遇到了同样的难题。
其他科研机构,已经放弃了这个课题,转从其他方面着手研究。
但是四海集团并没有放弃。
因为李云海知道,几年以后,浸润式光刻机,肯定会被研究出来。
也就是说,总有一种办法,可以突破现在的瓶颈。
可惜,李云海前世并不是做光刻机的。
他对具体的光刻机技术,只知其一,不知其二。
听纪文姝谈及到具体的科研困难,李云海忽然想到了什么,问道:“现在的研究,是基于157n波长?对吗?”
纪文姝道:“是的,李总,我们现在要做的,就是突破157n波长。可是在157n波长下,水是不透明的液体,我们很难得到想要的折射率。”
李云海用手指轻轻敲击额头,说道:“不对!不对!”
纪文姝道:“李总,哪里不对了?你头痛吗?要不要帮你按按?”
李云海却陷入了回忆和沉思。
重生过来十年了!
前世的记忆,对他来说,变得越来越稀薄,也越来越不重要。
他的整个身心,都完全的融入到了现在这个世界。
前世的相关记忆,只有十分特别的,他才会记起来。
人的记忆是很神奇的东西。
可能前几天发生的事情,很快就被忘记。
但小时候那些独特的事件,却一直记忆犹新。
大脑像是一个独立的存在,它只记下那些它感兴趣的事情。
李云海忽然说道:“纪总,不应该基于157n波长,而应该是193n的波长!”
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