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第262章
光刻机的研究要比蚀刻机复杂多了,所以这个研究的重心还是放在光刻机的研究上面的。
这一次光学研究所的目标还是非常大了,想直接将步进扫描投影曝光机,准备将集成电路图形的线宽缩小到0.35μm的节点。波长能达到193nm,光学光刻分辨率争取能达到70nm的极限,目标很宏大,自然需要的时间也不少。
限制芯片大小的主要关机就是在于光刻系统能获得的分辨率有关,而提升分辨率最有效的方法就是减小照射光源的波长,因此这个项目的关键就是开发和寻找新型的短波长的光源,研究不同的光源本来就是光学研究所的重要任务,所以这一次他们项目的重点也就是找到只有193nm甚至是要比这个数字更短的光源。
而这项任务除了本身的研究实力,大量的实验之外,自然还需要不少运气了,陆见倒是记得光刻机的几种光源,大概是激光、紫外光、深紫外光,还有极紫外光,而极紫外光是后世最先进的光源技术,只可惜陆见也就知道些名字,前世的时候并不是很了解,他近段时间倒是补充了不少光学知识,但是后面这些光源不是还没有被研发出来,就是应用方面还有很多问题,所以现在的光刻机使用的还是激光。
陆见坐在霍所长的边上,耳中听着那些人的话,一边的霍所长也听得有些无聊,现在还没有提到他们的部分,他不像陆见一般,这次过来的原因主要就是因为这个是三个单位的合作项目,他过来算是重视,具体任务还是交给陆见他们去做的,所以他就只是听着。他本来的位置不在陆见这边,是他强烈要求才做过来的,按他的说法反正我都没有什么话要说,哪里需要坐这么后面。
不过一边的陆见倒是一直在记着笔记,趁着中场休息的时候霍所长抢过陆见的笔记本,仔细看了起来,还真是有模有样啊。他不由得啧啧两声,有些感兴趣地说:“这个笔记记得挺详细的啊?”
陆见被他抢了笔记本也不着急,将钢笔收好,笑着对他道:“他们说得挺好的,能学到不少东西。”
霍所长看了一会,“你这笔记里面的记得东西都是关键要点,看来之前做过不少功课啊?”
陆见也没隐瞒,“这不是要研究光刻机嘛,这个项目关键是光源,所以我就多了解了一些。”
霍所长总觉得似乎有些不对劲,正准备说话,突然就有一个走到他后面将他手中的笔记本给抢了过去,霍所长和陆见回头望过去,却是一个头发发白的老人,他有些矮,不,应该说很矮,背有些驼,看着只有一米六的样子,不过身上的气势倒是挺足的。真是会议一开始在台上说话的光学研究所所长,莫季明。
他抢过笔记本就仔细看了起来,霍所长则是有些无语地白了他一眼,“好你个莫老头,你是什么东西都要抢是吧,赶紧还回来。”说话见他就站了起来,伸手就要将那个笔记本抢过来。
莫所长麻利地躲过了他的手,完全就不像是一个已经六七十岁的老人了,陆见也站了起来,喊了一声莫所长之后就默默站在那了,不过他还是比较关注他们的,免得他们打闹要是有那一个摔倒就不好了。
莫所长都不带搭理霍所长了,直接站远了些,让霍所长够不到他,他们坐的位置是连在一起的,椅子的靠背倒是挺高的,所以霍所长一时还真出不来,见他这样只能有些无奈地看着他,“哎,姓莫的,哪有不问自取的,赶紧还回来。”
霍所长也不知道怎么回事,总觉得有些心慌,这个莫季明看什么呢,不都是刚才讲的一些东西吗?还能看出花儿来不成。
莫所长态度很淡定,连动作都是不紧不慢的,他看了一眼霍所长,之后他又看向了陆见,语气很平淡地问陆见,“你应该就是陆见吧?”
陆见点头。
“这个笔记本是你的?”
陆见还没有继续点头,霍所长就连忙道:“是谁的关你什么事?赶紧还回来吧。”
莫所长还是不理会他,心中已经知道答案了,“看来就是你的,上面这些东西都是你写的吧?”莫所长已经将陆见的笔记本翻到了前面的部分,上面不少都是陆见看过那些光学书籍之后的想法。莫所长看着陆见的眼睛里面带这些兴味,显然是对陆见的笔记本很感兴趣。
“是我写的,之前看了一些光学相关的书,勉强有一些想法。”虽然不知道这位莫所长要做些什么,所以陆见还是很有礼貌地回答他的话。
霍所长倒是对这个莫所长有些了解,自然知道他不是一个说闲事的人,总觉得他看着陆见的目光里面带着些热切,在他看来这莫老头就是不怀好意,他连忙道:“莫老头,你还是赶紧去去喝个水什么的吧?这会议可没有多久就要继续开始了。”
莫所长瞪了他一眼,之后又变换了神色,有些和蔼地对着陆见说:“你是自己找书看的吧?我看你上面还写了不少问题,应该还没有弄清楚吧?”
一说到这些问题陆见就心中一动,“我的确都是自己找书看的,又不少地方还没有弄明白。”
莫所长听到他的话笑了,“你能有这些问题,看来看书看得还是很不错的,你是不是对光学这方面挺感兴趣的啊?”
霍所长皱着眉头,“哪里就感兴趣了,这不是我们现在要研究光刻机,这就是做一下提前准备。”
霍所长都这么说了,陆见也就只能笑笑,不过他现在的确是对光学这一块比较感兴趣,当然主要是光刻机这一块,后世芯片这一块花国可是一直受制于其他国家,只要一制裁芯片行业,那手机还有计算机行业就会面临很大的风险,他倒是想以后就从事这方面的研究,这些年他做的东西有多又杂,精力有些分散。
而且以后的研究只会越来越深入,陆见知道自己能依靠后世的东西只会越来越少,而自己最好还是选择一个方向深入研究。现在他主要研究的就是电子技术,而这方面研究最关键的就是芯片,他现在又对光学这一块比较感兴趣,他倒是挺想以后研究这一方面的东西的。
莫所长继续不理霍所长,“行,我就知道你很感兴趣,我看你在光学这方面也挺有天赋的,要不你以后就跟着我学习吧,正好我也是清大光学院的教授,你要不今年考一个我的研究生啊。”
他目光里面都是期待,看着是很希望陆见成为他的学生。
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